AI进销存2025年08月22日 07:47消息，国产首台28纳米电子束量测设备在无锡成功出机，标志着我国半导体检测技术取得重大突破。
2025年8月15日，无锡高新技术产业开发区管理委员会宣布，我国首台28纳米关键尺寸电子束量测设备在无锡顺利完成出厂。
此次出机的28纳米关键尺寸电子束量测设备由无锡亘芯悦科技有限公司自主研发，在电子光学系统、运动平台、电子电路以及软件系统等多个核心领域实现了完全自主设计与制造。该设备的问世，标志着我国在半导体检测领域的一项重大突破，具备解决行业关键核心技术难题的能力，对于完善我国集成电路产业链、提升高端芯片制造装备的自主保障能力具有重要意义。 这一成果体现了我国在半导体设备研发领域的持续进步，尤其是在关键检测环节上逐步摆脱对外依赖。随着国产设备在精度和稳定性上的不断提升，未来有望在更多高端制造场景中发挥作用，进一步增强我国在集成电路产业中的自主可控能力。同时，这也为国内芯片制造企业提供了更可靠的技术支撑，有助于推动整个产业链的优化升级。
电子束晶圆量测设备是芯片制造过程中，除光刻机以外技术含量最高、最为关键的设备之一。CD-SEM（关键尺寸量测设备）通过精准测量芯片制造过程中关键尺寸，对光刻工艺后形成的图形进行尺寸监控，从而确保产品良率和工艺稳定性。
无锡亘芯悦科技有限公司成立于2022年，注册地址位于无锡高新区微纳产业园。公司由中国工程院院士丁文江、中国科学院院士张泽联合多位国际知名的工程技术专家以及上市公司创始人共同发起成立，致力于半导体前道量测与检测设备的研发与生产。
自入驻无锡高新区以来，公司持续加大在研发领域的投入，多个在研项目已进入关键性能优化与市场推广阶段。目前，公司已构建起覆盖多种半导体制造工艺需求的完整系列关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）产品线，致力于为客户提供贯穿研发至量产全过程的高效、精准工艺控制解决方案。
